��Ʒ��飺
��Ч��ʽ���������� �ص㣺 ��Ҫ����Ϊһ��յ�ϵͳ�ĽϺ�������;����յ�ϵͳ��Ԥ���������Թ��˴����е�1um�����ҳ��������Ч��50%~~99%.�� ���Ϊ����п�塢���Ͳģ� ����Ϊ�������� �˽ṹ��ʽ�Ĺ��������������ɶ��ʽ������������������ͷ���������...

��Ҫ����Ϊһ��յ�ϵͳ�ĽϺ�������;����յ�ϵͳ��Ԥ���������Թ��˴����е�1um�����ҳ��������Ч��50%~~99%.��
���Ϊ����п�塢���Ͳģ�
������������
�˽ṹ��ʽ�Ĺ��������������ɶ��ʽ������������������ͷ������������ͷ�����������нṹ��ա��ͷ�����ͨ����ǿ����װ������ŵ㡣
�¶ȣ�-10~~80�棬ʪ�ȣ�80%������Ŀ�������
�ͺųߴ缰��������ı���վ��
�ڶ����ʹ�������£�3—4���¼���������������������������ﵽ400Pa����ʱ������������������������ʹ�õ��ǿ���ϴʽ���ϣ�������µ����ϣ���������ˮ��������ϴ�Ӽ�����Һ���г�ϴ�����ɣ�Ȼ���ϣ��϶�������ϴ���Σ�����������µĹ���������ʹ�û����к���Ũ�Ƚϴ����ʹ���������ڻ������١�
���ڼ��������������������������������ϱ�����������������Ʒ�������棬��Ӧ��������ϱ����������أ����������µ����ϻ�����µĹ��������°�װ����������װʱ��Ҫ��֤������ѹ�ߴ��ܷ������ã��Է�ֹ����й¶������������ȥײ���������ı��棬��������ȥ�������������ϱ��棻��װʱ��Ӧʹ�˴��ڳ��ȷ���ֱ�ڵ��棬�Ա�֤�ͷ�Ĺ���Ч��������ʹ��������